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上海續波光電技術有限公司
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關鍵詞：鍍膜、金屬膜、Al,Ti,Cr,Ni,Cu,Au,Nb,W,Pd,Pt,Mo可在導體或絕緣體上濺射任何薄膜氣路：Ar氣路配搭MFC陰極：3個4英寸直流磁控管
關鍵詞：鍍膜、金屬膜、Al, Ti, Cr, Ni, Cu, Au, Nb, W, Pd, Pt, Mo
可在導體或絕緣體上濺射任何薄膜
氣路：Ar氣路配搭MFC
陰極：3個4英寸直流磁控管，一個加強磁控管用于Ni，一個6英寸磁控源
靶材： Al, Ti, Cr, Ni, Cu, Au, Nb, W, Pd, Pt, Mo
直流電源：200mA-1A（1千瓦功率）
襯底偏置：等離子刻蝕，20-250W（RF ）
樣品臺：可接納4個4英寸襯底，襯底可旋轉
真空泵：前級泵+低溫泵
全自動、半自動、手動模式
支持遠程維護和操作
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