詳細介紹
1、 低溫探針臺工作原理: 低溫探針臺可用來測試芯片、晶圓片和封裝器件應用領域包括半導體、MEMS、超導、鐵電子學、材料科學以及物理和光學等探針可以施加直流、低頻信號或微波信號等(可選一到八探針)高效率連續流低溫恒溫系統使用液氦或者液氮可使溫度控制在3K到475K(可選600K)各類無制冷劑制冷系統(Basetemperature:5K,8K,10K等)可施加各類磁場(永磁體、電磁體和超導磁體) 2、低溫探針臺型號及技術參數如下: |
CPS-25-CF-HV-10K
無氦低溫探測臺
用于10K到460K
成本效益,穩定,可靠,使用方便 可達25mm直徑的晶片
- 溫度范圍從4.5K到470K(0.1K或更好的精度和穩定性)
- 閉環循環制冷機
- 高達25mmx25mm樣品表征
- 選擇DC至67GHz的測量與合適的探頭
- 4 微控探針臂(多8個,可以在可選的配置),以高度準確的XYZ和任選θ調整,具有可達4英寸X,1.75英寸Y和0.5的英寸Z
- 熱錨定探針針尖
- 溫控輻射屏蔽
- 改進真空等度的組件的
- 方便的頂部觀察窗口(高純度的石英)
- 高頻振動阻尼
- 定制的高水平,以適應各種的探測需求
詳細參數
可達25mm,50mm以上100毫米
無液氦閉路循環制冷機,包括冷頭,壓縮機,制冷機和氦軟管
溫度范圍:低于10K到480K
控溫精度:0.1K
溫度分辨率:0.001K
熱錨探頭武器和輻射屏蔽
chuck溫控(加熱)盤
變焦70系統(4UM分辨率)標準,縮小125或160變焦系統可作為選件,以及更便宜的解決方案
同軸和環形照明LED照明
數碼相機從100萬像素到10百萬像素附帶相機的圖像和視頻捕捉軟件,以及尺寸測量能力
軟件進行計算機控制和溫度監控。幾個溫度測試序列是預編程和定制序列可以由終用戶很容易地編程