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鄭州科探儀器設備有限公司
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高溫真空探針臺KT-Z1604TZ，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ
真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量，真空腔一體成型，具有設計合理，真空度穩定，溫控精度及機械精度高等特點；根據測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-196℃，；真空系統可選機械泵或分子泵系統，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫真空探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數
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真空腔體 | |
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腔體材質 |
304不銹鋼 |
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上蓋開啟 |
鉸鏈側開 |
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加熱臺材質 |
304不銹鋼 |
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內腔體尺寸 |
φ160x90mm |
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觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加熱臺尺寸 |
φ60mm |
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觀察窗熱臺間距 |
75mm |
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加熱臺溫度 |
﹣196~350℃ |
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加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
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真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允許正壓 |
≤0.1MPa |
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真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
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氣體進氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
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電信號接頭 |
SMA轉BNC X 4 |
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電學性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
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探針數量 |
4探針 |
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探針材質 |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm |
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探針移動平臺 | |
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X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
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X軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
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電子顯微鏡 | |
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顯微鏡類別 |
物鏡 |
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物鏡倍數 |
0.7-4.5倍 |
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工作間距 |
90mm |
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相機 |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調光源 |
有 |
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顯示屏 |
8寸 |
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放大倍數 |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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